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化学指标单位：μg/l
序号 | 水质项目 | 一级高纯水指标 | 二级高纯水指标 |
1 | 电阻率（25℃）mω·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 电导率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | ph值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
4 | 细菌总数，个/ml | ＜3 | ＜9 |
5 | 微粒（直径＞0.5μm，粒/ml） | ＜150 | ＜300 |
6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
7 | 有机物（以cod计） | ＜0.3 | ＜0.5 |
8 | 钠 na | ＜0.5 | ＜2 |
9 | 铁 fe | ＜1 | ＜2 |
10 | 铜 cu | ＜0.5 | ＜1 |
11 | 钙 ca | ＜1 | ＜3 |
12 | 镁 mg | ＜0.2 | ＜1 |
13 | 锌 zn | ＜0.5 | ＜1 |
14 | 锰 mn | ＜0.2 | ＜0.5 |
说明：①pg电子下载-pg电子官网合用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水合用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子产业部尺度摘录。
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